问题描述： 半导体中晶圆切割去离子水的作用是什么 1个回答 分类： 化学 2014-10-01 问题解答： 我来补答 1 因为切割过程中会产生热量,使用去离子水进行冷却；2 切割中会产生一些粉尘和碎屑,切得过程中要一直使用水来冲洗刀片.使用去离子水是防止水中的可移动离子,比如Na\Cl之类对Wafer造成污染,影响后续的工艺. 展开全文阅读